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3D共聚焦顯微鏡在電子包裝材料的應用

    3D共聚焦顯微鏡是一款專為工業和研究所設計的全新非接觸式3D光學輪廓儀。它設計簡潔、用途多樣。S lynx能夠測量不同的材質,結構,表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的優異形貌測量應用。Sensofar的核心磚利是将3種測量方式融于一體,确保了其上乘的性能。配合SensoSCAN軟件系統,用戶将獲得難以置信的直觀操作體驗。

    單一測量技術的系統缺乏多用性。當面對一些觸及該技術的物理測量極限任務時,用戶僅有的選擇是修改測量參數。這樣的妥協将導緻犧牲速度,分辨率和精度中的一個或多個。在Sensofar 的S系列測量系統中,随“三合一”這一核心技術的來臨,您隻需在SensoSCAN中輕輕點擊,系統将為您的測量任務呈現*佳的技術。這三種測量技術分别是:共聚焦,幹涉和多焦面疊加。三種技術互相補充,共同成就了Sensofar上等的多功能表面形貌測量性能。

    3D共聚焦顯微鏡共聚焦技術可用于測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。磚利的共聚焦算法保證Z軸測量重複性在納米範疇。

    白光幹涉功能強大,廣泛應用于測量表面形貌和透明膜。它特别适用于測量光滑和适度粗糙的表面。它的優勢在于任何放大倍數都能确保納米級的縱向分辨率。

    多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和幹涉技術融合應用方面的豐富經驗,特别設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該科技的*大亮點是快速(mm/s),掃描範圍大和支援斜率大(*大86°)此功能對工件和模具測量特别有用。

    用戶隻需找到測量位置, 點擊3 D 測量按鈕,SensoSCAN的軟件将自動調整照明亮度,自動對焦,執行*佳的測量模式,将精準的測量結果于彈指間為您呈現。

    SensoSCAN為您呈現前所未有的共聚焦實時圖像。我們的圖像質量和速度進一步提升,在共聚焦照明模式下可達9幀/秒,在明場照明模式下高達30幀/秒。與此同時,還有多種實時圖像模式選擇。